ЎЗБЕКИСТОН РЕСПУБЛИКАСИ ФАНЛАР АКАДЕМИЯСИ
C.
А.АЗИМОВ номли
«
ФИЗИКА-КУЁШ
»
ИЛМИЙ ИШЛАБ ЧИҚАРИШ
БИРЛАШМАСИ С.В.СТАРОДУБЦЕВ номли
ФИЗИКА
-
ТЕХНИКА ИНСТИТУТИ
__________________________________________________________________
Қўлёзма хуқуқида
УДК
621.315.592
ГУЛЯМОВ АБДУРАСУЛ ГАФУРОВИЧ
ДЕФОРМАЦИОН ЭФФЕКТЛАР ДИНАМИКАСИ ВА ЯРИМЎТКАЗГИЧ
ПАРДАЛАРИДА РЕАКТИВ ФОТОТОКЛАР
01.04.10 –
Ярим ўтказгичлар физикаси
Физика-математика фанлари номзоди
илмий
даражасига давогарлик диссертацияси
А В ТО Р Е Ф Е РА Т И
ТОШКЕНТ
– 2010
2
Иш
«
Физика-Қуёш
»
илмий ишлаб чиқариш бирлашмаси Физика-Техника
институтида ва Наманган Муҳандислик-Педагогика институтида бажа
-
рилган
Илмий раҳбар
:
физика-математика фанлари доктори
,
профессор С.Х
.
Шамирзаев
Расмий оппонентлар
:
физика-математика фанлари доктори
,
профессор А.Ю.Лейдерман
физика-математика фанлари доктори
,
профессор С.З.Зайнобиддинов
Етакчи ташкилот
:
Ўзбекистон Миллий Университети
Ҳимоя
2010
йилнинг
“_____"________
кунида соат
_____
да
Д
.015.08.01
Ихтисослашган
кенгашнинг йиғилишида
ЎзР Фанлар академияси Физика
-
Техника институти
“
Физика-Қуёш
”
ИИЧБсида ўтказилади
.
Манзил
: 100084,
Тошкент
,
Бодомзор йули
, 2
б
уй
Тел
: (8-10-99871)- 235-12-71.
Факс
: (8-10-99871)-223-42-91
.
Е
-mail:karimov@uzci.net
Диссертация билан
ЎзР ФА
“
Физика-Қуёш
”
ИИЧБ сининг физика
-
техника
институти кутубхонасида
танишиш мумкин
.
Автореферат
2010
йилнинг
___________
да
тарқатилди
.
Ихтисослашган кенгаш илмий котиби
,
ф-м.ф.д
.,
профессор
Каримов А.В
.
3
КИРИШ
Мавзунинг долзарблиги
:
Хозирги вақтда яримўтказгичлар ва бошқа
материалларни хоссаларини ўрганишнинг кўплаб усуллари мавжуд
,
лекин
хозиргача яримўтказгичларнинг хоссалари ўрганишда
“
фазалар траекторияси
”
усули қўлланилмаган
. “
Фазалар траекторияси
”
усули тербранма ва
термодинамик жараёнларни урганишда кенг қўлланиб келинади
.
Бу усул
намунани чуқурроқ тахлил этишга ёрдам беради
.
Бу муаммо анча долзарб
ҳисобланиб
,
унинг ечими яримўтказгичли электроника ривожига салмоқли
ҳисса қўшади
.
Электронларнинг қўзғалишини электромагнит майдон ёрдамида амалга
оширса бўлади
,
лекин ўша пайтнинг ўзида кристалл панжара нисбатан
тинч
холатда бўлади
.
Шундай қилиб системани мувозанат холатидан чиқариб
юбориш мумкин ва бу холатда яримўтказгич янги хоссага эга бўлади
,
ҳамда
намунада электр юритувчи кучлар юзага келади
.
Ўзгарувчан деформация
таъсиридаги яримўтказгичларнинг тензорезетив хоссалари релаксацион
хоссаларга боғлиқ
.
Деформацион жараёнлар динамикаси ва уларни
яримўказгичнинг тензохоссалари боғликлигини тадқиқ қилиш
,
кристалларда
кечаётган физик жараёнлар хақида катта маълумот бериши мумкин ва
энергетик холатларни аниқлаш имкониятини беради
.
Бундай тизимларни
ўрганишда умумий холда тебранма ва термодинамик жараёнларни
тавсифлашда ишлатиладиган услублардан фойдаланиш мақсадга мувофиқдир
.
Термодинамика услубларни релаксацион жараёнларни тадқиқ қилишга
қўллаш
яхши
натижалар
беради
.
Яримўтказгичларда
деформацион
эффектларни тадқиқ қилишда термодинамиканинг айланма жараёнлари ва
“фазалар траекторияси
”
усули қўлланилмаган
.
Деформацион эффектлар
динамикасига ташқи факторларнинг таъсири ушбу жараёнларнинг
“
фазалар
портретларида
”
яққол акс этади
. “
Фазалар портрети
”
усули янги эффектлар
топиш ёки мавжуд бўлган эффектларни умумлаштириш имконини беради
.
Шу сабабли
,
кучли электромагнит майдонларда ЭЮК ҳосил бўлиш
механизмларини ва деформацион эффектлар динамикасини термодинамика
хамда
“
фазалар траекторияси
”
усули билан тадқиқ қилиш
,
долзарб хамда илмий
ва амалий томондан келажаги бор масаладир
.
Муаммонинг
ўрганилганлик даражаси
:
Адабиётларда қуйидаги
муҳим муаммолар кўриб чиқилмаган
:
1.
ЭЮК механизмлари умумлаштирилмаган
.
Уюрмавий токлар етарлича
тадқиқ қилинмаган
.
2.
Деформацион эффектлар динамикаси етарлича тадқиқ қилинмаган
.
Яримўтказгич
қаршилигининг
R(
e
)
яримўтказгичга
қўйилган
деформацияга
e
( t)
боғлиқлиги таҳлил этилмаган
.
3.
Аномал катта фотокучланишларни юзага келишида баллистик
токларнин роли етарлича ўрганилмаган
.
4.
Деформацион эффектларнинг
R(
e
)
портретига ёруғликнинг таъсири
тадқиқ қилинмаган
.
5.
ЎЮЧ майдонларида ЭЮКни юзага келиши ва аномал катта
фотокучланиш
механизмлари тўлалигича аниқланмаган
.
4
Диссертация ишининг мақсади
:
Ўта юқори частотали(ЎЮЧ
)
майдондаги
p-n-
ўтишларда электр юритувчи кучларнинг(ЭЮК
)
ҳосил бўлиш механизм
-
ларини тадқиқ қилиш
.
Тензосезгир плёнкалардаги деформацион эффектлар
динамикасини термодинамиканинг циклик жараёнлари усули
,
ҳамда
тебранишлар назариясида кенг қўлланиладиган
“
фазалар траекторияси
”
усули
орқали ёритиш
.
Тадқиқод объектлари
:
Диссертация ишида деформациянинг тензосезгир
яримўтказгичли плёнкаларнинг хоссаларига таъсири ўрганилган
,
вакуумли
чанглатилиш натижасида олинган
Bi
2
Te
3
ва
Sb
2
Te
3
плёкаларнинг
экспериментал натижалари тахлил этилган
.
Доимий кучланганлик таъсирида
p-
Si<Ni>
намуналар учун токнинг гидростатик босим импульсига боғлиқлиги
тахлил этиб чиқилиб
,
бу жараённи тавсифловчи
R(
e
)
диаграммы қурилган
.
Ишнинг илмий янгилиги
:
1.
Электромагнит майдоннинг бир жинсли бўлмаган кўринишда
тақсимланиши ҳисобига хосил бўладиган ЭЮК
, p-n-
ўтишлардаги
уюрмали токларни камайтириши биринчи марта кўрсатиб берилди
.
2.
Яримўтказгичларда деформацион эффектларни ўрганишда илк бор
R(
e
)
портретлари усулидан фойдаланилди
.
3.
Деформацион эффектларнинг
R(
e
)
қаршилик-деформация боғлиқлигига
хусусий ёруғликнинг тасири аниқланди
.
Химояга олиб чиқилаётган асосий холатлар мазмуни
:
1.
Юқори частотали квазипотенциал
p-n-
ўтишдаги уюрмали токларни
камайтиради
.
2.
Деформацион эффектларнинг берк
R(
e
)
траекториялари электронли
жараёнларга боғлиқ
.
Очиқ
R(
e
)
траекториялари эса яримўтказгичнинг
параметрларининг ўзгариши билан тушунтирилади
.
3.
Хусусий
ёруғлик
билан
ёритиш
кучли
компенсацияланган
яримўтказгични ва
p-n-
ўтишнинг тензосегирлик коэффициентини
оширади
.
Ишнинг илмий ва амалий ахамияти
:
Термодинамиканинг циклик
жараёнлари усули
,
ҳамда тебранишлар назариясида кенг қўлланиладиган
“фазалар траекторияси
”
усули яримўтказгичларда деформацион эффектлар
динамикасини тадқиқ қилишда кенг қўлланиши мумкин
.
Тензосезгирлик
бўйича олинган тақиқод натижаларидан янги сегирлигини бошқариш мумкин
бўлган тензодатчиклар олишда фойдаланиш мумкин
.
Диссертация ишининг асосий натижалари
2003-2007
йилларга
мўлжалланган Ф
.2-1.55 “
Яримўтказгичларда электрюритувчи кучларнинг хосил
бўлишининг янги механизмлари
”, 2007-2011
йилларга мўлжалланган
“Динамика деформационных эффектов полупроводниковых плёнок и
воздействие
электромагнитных
волн
на
токи
возникающие
в
5
полупроводниковых плёнках
”,
ҳамда ФА-Ф
2-
Ф
034_”
Усталостная повреждае
-
мость гетерогенных полупроводниковых материалов с очень сложной динами
-
кой
”
Давлат грантлари асосида олинган
.
Диссертация муаллифи ушбу грант
лойихаси иштирокчиларидан бири
.
Ишнинг апробацияси
:
Диссертация ишининг асосий натижалари
қуйидаги республика илмий-амалий конференцияларида маъруза қилинган
«Рост
,
свойства и применение кристаллов
»
ст
.88. 11-12-
апрел
, 2008
йил
,
Андижон
.
“Иқтидорли талабалар
,
магистрлар
,
аспирантлар
,
докторантлар ва
мустақил изланувчиларнинг илмий-амалий анжумани
”.
НамМПИ
,
Наманган
.
27-28
март
, 2008
й
. «
Хозирги замон физикасининг долзарб муаммолари
» II-
Республика илмий-назарий конференцияси материаллари
. 23-
бет
. 2004
й
.
ТерДу
.
Материалы международной конференции по
«
Фотоэлектрическим и оптиче
-
ским явлениям в полупроводниковых структурах
».
ст
.84, 2-3
октябр
2006
йил
,
Фарғона
.
Материалы международной конференции
«
Неравновесные процессы
в полупроводниках и в полупроводниковых структурах
»,
ст
. 147, 1-3
феврал
,
Тошкент
,
ва ЎзРФА ФТИ
,
НамМПИ
,
НамДУ семинар ва конференцияларида
маъруза қилинган
.
Чоп этилган мақолалар
:
Ишнинг асосий натижалари
5
та илмий журнал
-
ларда
,
ҳамда
6
та илмий амалий анжуманлар тўпламида чоп эилган
.
Илмий
ишлар рўйхати автореферат охирида келтирилган
.
Диссертациянинг тузилиши ва ҳажми
:
диссертация
кириш
қисми
,
тўртта боб
,
хулосадан ва фойдалилган адабиётлар рўйхатидан иборат
.
Иш
109
саҳифада баён қилинган бўлиб
, 25
та расм
, 84
манбани ўз ичига олган
фойдаланилган адабиётлар рўйхати ва
7
иловадан ташкил топган
.
Кириш қисмида
мавзунинг долзарблиги ва тадқиқод объектларининг
танланиши асослаб берилган
.
Ишнинг мақсади
,
қўйилган масалалар
,
натижалар
янгилиги ва амалий ахамияти ёритиб берилган
.
Биринчи боб
адабиётлар шархига бағишланган
.
Генерацион жараёнларга
ва рекомбинацион токларни юзага келиш механизмларига кучли ЎЮЧ
майдоннинг таъсири тахлил этиб чиқилди
.
Ўзгарувчан деформацияни
соҳалараро термик ўтишларга таъсири тақиқ қилинди
. “
Фазалар траекторияси
”
ёрдамида тебранувчан жараёнлар кўриб чиқилди
.
Циклик ва ноциклик
деформацион эффектлар тебранувчан жараёнларнинг
“
фазавий портретлари
”
кўринишида тавсифланиши мумкинлиги кўрсатиб берилди
.
Критик нуқталар
яқинида
“
фазалар траекториялари
”
кескин ўзгаришларга эга бўлиши аниқланди
.
Турли шароитларда юзага келадиган фотоЭЮКга деформациянинг таъсири
ўрганилди
.
Турли яримўтказгичли плёнкаларда баллистик фототокларнинг
таъсирини номоён бўлишини тахлил этилди
.
Иккинчи бобда
p-n-
ўтишда электрон ва коваклар концентрациясининг
ўзгаришига кучли ЎЮЧ майдоннинг таъсири тадқиқ қилинган
.
ЎЮЧ тўлқин
таъсирида
p-n-
ўтиш
,
ЭЮК ва ток генераторига айланади деган хулоса қилинди
.
ЎЮЧ тўлқин
p-n-
ўтишга статистик ва динамик таъсир этиши аниқланди
.
Статистик таъсир электрон ва ковакларни қизиши билан номоён бўлса
(§2.1),
динамик таъсир эса баръер баландлигининг тез ўзгаришида номоён бўлади
(§2.2).
Динамик таъсирнинг бошқа турдаги кўриниши бу уюрмавий токларда
6
ЎЮЧ квазипотенциални хосил бўлишида номоён бўлади
.
Бир жинсли бўлмаган
электромагнит майдонда электромагнит майдон электрон газга босим ўтказа
бошлайди
.
Бу эса тўлқинюргич(волновод
)
ичида жойлашган намуна
генерациялаётган токга ўз хиссасини қўшиши керак
.
Бундай шароитларда
p-n-
ўтишларда уюрмавий токлар юзага келиши кўрсатиб берилган
(§2.3).
ЎЮЧ
квазипотенциал
p-n-
ўтишларда
ҳосил
бўлувчи
уюрмавий
токларни
камайтириши кўрсатиб берилди
(1-
расм ва
2-
расм
).
1-
Расм
.
Квазипотенциал таъсирини хисобга олувчи
p-n-
ўтишнинг бир ўлчовли
схематик кўриниши
.
Бу ерда
(
)
e
e
e
T
T
F
+
-
0
a
ва
(
)
h
h
h
T
T
F
+
-
0
a
-
электрон ва
коваклар термоЭЮК ва квазипоенциали
÷÷
ø
ö
çç
è
æ
-
-
1
0
0
T
T
e
j
- p-n-
ўтишнинг электрон ва
коваклари термоЭЮК
.
E
1
≠
0
E
1
=
0
p
n
T
e
= T
h
= T
0
T
e
= T
h
= T
0
T
e
, T
h
(
)
h
h
h
T
T
F
+
-
0
a
(
)
e
e
e
T
T
F
+
-
0
a
÷÷
ø
ö
çç
è
æ
-
-
1
0
0
T
T
e
j
7
Рис
. 2.
Квазипотенциал таъсирини хисобга олувчи
p-n-
ўтишнинг икки ўлчовли
схематик кўриниши
.
а
) p-n-
ўтишнинг тўлқинюргичдаги(волновод
)
жойлашуви
б
)
уюрмавий токларнинг намада тақсимланиши
.
Кучли ўта юқори частотали майдонда генерацияланувчи ЭЮК учун
қуйидаги ифода олинган
(
) (
)
h
e
e
e
h
e
T
T
T
T
F
+
F
+
-
+
+
÷÷
ø
ö
çç
è
æ
-
-
=
0
0
0
1
a
a
j
e
Учинчи боб
яримўтказгичнинг электр ўтказувчанлигига ўзгарувчан
деформациянинг таъсирини тақиқ қилишга бағишланган
. §3.1
бўлимда
ўзгарувчан деформациянинг намунанинг қаршилигига таъсирини
R(
e
)
траекторияси ёрдамида кўриш мумкинлиги кўрсатиб берилган
.
“Фазалар
траекторияси”нинг шакли ташқи таъсирларга жуда сезгирлиги аниқланди
.
E=0
E≠
0
а
)
б
)
(
)
h
h
h
T
T
F
+
-
0
a
(
)
e
e
e
T
T
F
+
-
0
a
÷÷
ø
ö
çç
è
æ
-
-
1
0
0
T
T
e
j
8
Ўзгарувчан деформация таъсир этганда генерация ва концентрациянинг
ўзгариши орасида кечикиш мавжуд бўлади
.
Генерация тезлиги
g(
e
)
барьернинг
баландлиги ва соҳа кенглиги билан боғлиқ бўлиб
,
ташқи босимга тез
мослашади
,
яъни босим билан бир вақтда пайдо бўлади
.
Бироқ заряд
ташувчилар концентрацияси аста секинлик билан ортиб боради
.
Мувозанатсиз
заряд ташувчилар концентрацияси қуйидаги узлуксизлик тенгламаси орқали
аниқланади
.
n
e
e
I
e
n
g
t
n
Ñ
+
-
=
¶
¶
1
t
(2)
Бу ерда
n
I
электронлар токи зичлиги
,
t
-
электронлар яшаш вақти
.
Бир жинсли
намуна учун узлуксизлик тенгламаси қуйидаги кўринишга эга
.
t
e
e
n
g
t
n
-
=
¶
¶
(3)
Мувозанатсиз заряд ташувчилар концентрацияси билан генерацияси орасида
кечикиш мавжудлигини ҳисобга оладиган бўлсак
,
деформация
e
вақтнинг
ихтиёрий функцияси бўлган холат учун узлуксизлик тенгламасининг ечими
қуйидаги кўринишга эга бўлади
.
( )
0
2
,
)
(
dt
e
t
g
t
n
t
t
e
ò
=
t
e
(4)
n
e
-
e
боғлиқликни олиш услубини кўрсатиш учун биз кучсиз деформацияни
кўриб чиқамиз
,
яъни
1
<<
D
kT
e
.
У ҳолда
(4)
тенглама қуйидагича ёзилади
.
ò
¥
-
D
÷
ø
ö
ç
è
æ-
=
t
t
e
dt
e
kT
t
g
t
n
0
0
0
exp
)
(
t
e
t
(5)
Намунага деформациянинг синусоидал ярим даври қўйилган бўлсин
)
sin(
0
0
t
w
e
e
=
(0<t
0
<
p
/
w
)
деформациянинг
қолган моментларини йўқ деб ҳисоблаймиз
.
У ҳолда
(4)
ифода қуйидаги кўринишга эга бўлади
)
/
t
(0
,
exp
cos
)
sin(
1
sin
exp
)
(
0
2
2
2
0
0
0
0
0
0
0
w
p
t
w
wt
w
t
w
wt
e
w
e
t
t
<
<
ú
û
ù
ê
ë
é
÷
ø
ö
ç
è
æ-
+
-
+
D
=
D
÷
ø
ö
ç
è
æ-
=
ò
t
t
t
kT
g
dt
e
t
kT
t
g
t
n
t
t
e
(6)
Деформация тугагандан сўнг
(4)
формуланинг юқори чегараси
p
/
w
бўлиши керак
÷
ø
ö
ç
è
æ >
ú
û
ù
ê
ë
é
÷
ø
ö
ç
è
æ -
÷
ø
ö
ç
è
æ
+
+
D
=
w
p
t
wt
p
t
w
wt
e
1
2
2
2
0
exp
exp
1
1
)
(
t
t
kT
g
t
n
e
(7)
wt
=1
бўлган холдаги электронлар концентрациясини деформация билан
боғлиқлиги
3-
расмда кўрсатилган
.
9
Деформациянинг
тўғри
тўртбурчакли
импульслар
учун
n
e
концентрацияни
e
деформация амплитудасига боғлиқлиги
4-
расмда
келтирилган
.
3-
расм
.
а
)
Концентрациянинг вақтга боғлиқлиги
(
узлуксиз эгри чизиқ
),
дефор
-
мациянинг
вақтга боғлиқлиги
(
пунктир эгри чизиқ
).
Ихиёрий бирликларда
.
b
)
Деформация жараёнининг
n(
e
)
траекторияси гистерезис халқасини ташкил
қилади
.
3
6
а
)
n
n
0
e
b)
e
ε
e
T
i
T
0
t
n
e
e
e
1
e
2
а
)
b)
4-
расм
.
а
)
Тўғри тўртбурчакли импульслар учун
e
нинг вақтга
боғлиқлиги
.
b)
Тўғри тўртбурчакли импульслар учун деформациянинг
e
концентрацияга боғлиқлик
“
фазалар
траекторияси
.
10
Деформация амплитудаси камайгани сари
n
e
-
e
нинг юзаси хам
баландлиги хам кенглиги бўйича кичрайиши кўрсатиб берилди
.
5-
расмда релаксацион траекториялар кўрсатилган
.
Деформацион
эффектларнинг берк
R(
e
)
релаксацион траекториялари электронли жараёнларга
боғлиқ
.
Очиқ
R(
e
)
релаксацион траекториялари эса яримўтказгичнинг
параметрларини ўзгариши билан тушунтирилади
.
§3.2
бўлимда ЎзР ФА физика-техника институтининг яримўтказгичли
датчиклар лабораториясида вакуумли чанглатилиш натижасида олинган
Bi
2
Te
3
ва
Sb
2
Te
3
тензосезгир плёкаларнинг деформацион эффектлар динамикаси
тадқиқ қилинган
.
6-
расм
. Bi
2
Te
3
и
Sb
2
Te
3
тензосезгир плёнкаларнинг экспериментал ва назарий
“
фазалар
портрети
”.
а
)
хисоб-китоблар натижаси бўйича яримўтказгичлар параметрлари ўзгармайди
.
б
)
цикллар сони ортиб боришига қарамай
“
фазалар портрети
”
деярли ўзгармайди
.
Айрим плёнкалар учун циклик деформациялар таъсирида цикллар
ортиши билан фазалар портреты деярли ўзгармаган рис
. 6
б
.
Бизнинг
фикримизча
бу
цикллар
ортиши
билан
плёнкалар
параметрлари
D
R
ε
D
R
ε
а
)
b)
5-
расм
.
a)
Берк траекториялар учун релаксация фақат электронларга
боғлиқ
.
b)
Берк
траекториянинг
узилиб
кетишини
намунанинг
параметрлари ўзгариши билан боғласа бўлади
.
-400
-300
-200
-100
0
100
200
300
400
-600
-400
-200
0
200
400
600
N20
N80
N160
N540
N940
N1340
N1740
N2140
N2540
N2940
N3360
N3960
N4560
N5160
N5760
N6360
N7160
N7960
N8760
N9560
а
)
б
)
11
ўзгармаётганлиги хақида далолат беради
,
намунадаги қаршиликнинг ўзгариши
эса асосан электрон жараёнларга боғлиқ
.
Бу фикрларни тасдиқлаш учун
яримўтказгичларнинг параметрлари вақт ўтиши билан ўзгартирмай назарий
хисоб ишлари олиб борилди
.
Хисоб ишлари натижалари
6
а-расмда келтирилган
бўлиб
,
унда хақиқатдан хам фаза портрети берк бўлиб эксперимент ва
назариянинг катта ўхшашлиги бор
.
-400
-300
-200
-100
0
100
200
300
400
-500
-400
-300
-200
-100
0
100
200
300
400
500
а
)
б
)
7-
расм
. Bi
2
Te
3
и
Sb
2
Te
3
тензосезгир плёнкаларнинг экспериментал ва назарий
“
фазалар
портрети
”.
а
)
цикллар сони ортиб бориши билан
“
фазалар портрети
”
ўз шаклини кескин
ўзгартиради
.
Бу материал параметрларининг ўзгариши ҳақида далолат беради
.
б
)
хисоб
-
китобларда яримўтказгич параметрлари вақтга боғлиқ бўлади
.
Плёнкаларнинг олиниш шарт шароитларига боғлиқ холда айрим плёнкаларнинг
характеристикалари ностабил бўлади
. 7-
расмда шундай плёнкаларнинг типик
фазали портретлари келтирилган
.
Расмдан кўриниб турибдики цикллар сонинг
ортиб бориши билан фазалар портретлари
,
қаршилик-деформация фаза
текислигида кескин кўчиб туради
.
Бизнинг фикримизга кўра бундай
ностабиллик намуналардаги структуравий ўзгаришларга боғлиқ
.
Вақт ўтиши
билан ва цикллар сони ортиб бориши билан параметрлар ўзгаришини хисобга
олган холда назарий хисоблашлар ўтказилди
. 7
б-расмда бу хисоблашлар
натижалари келтирилган
.
Расмдан кўриниб турибдики бу холда вақт ўтиши
билан фазалар портрети ўзгариб турибди ва траекториялар берк эмас
.
Бу тадқиқ
этилаетган
намуналарнинг
характеристикаларини
ностабиллигини
тасдиқлайди
.
Ушбу фазалар траекториясининг сонли хисоб ишлари
Maple 9.5
программаси ёрдамида амалга оширилган
.
Ўзгарувчан параметрлар деб
N
g
-
рекомбинацион марказлар сони
,
σ
-
марказларни қамраб олиш кесими ва α
-
рекомбинацион марказларнинг ўзгариш тезлиги назарда тутилади
.
Генерацияни
вақтга боғлиқ холда пайдо бўлиши ε
–n
текисликда фазалар тректориясини
кўчиради
.
Юқоридаги ҳисоблашларда генерация тезлиги қуйидагича олинган
( )
(
)
÷÷
ø
ö
çç
è
æ
-
÷
ø
ö
ç
è
æ
+
+
-
+
=
1
cos
exp
2
cos
cos
0
kT
t
ed
t
N
t
t
G
G
t
g
g
i
i
w
a
w
w
(8)
G
i
=4e+5; G
0
=10;
σ
=0.01;
α
=1e+4;
12
Хисоб ишларида фойдаланилган қолган параметрлар эса диссертациянинг
иловаларида келтирилган
.
§3.3
бўлимда компенсацияланган кремнийда динамик деформацион
эффектларнинг
“
фазалар портретлари
”
қурилган
. [1]
да
p-Si<Ni>
намуналар
учун доимий кучланганлик остида намунадан ўтаётган токнинг гидростатик
босим импулсига боғлиқлиги
293
К температурада кўрилган
.
Босимнинг
ўзгариш тезлиги
dP/dt=10
8
Па
/c
ни ташкил этади
.
Рис
. 8.
Кучли компенсацияланган
p-Si(Ni)
намуналарда токнинг
I=f(t)
кинетик
боғлиқлиги
,
(I)
импульс таъсир этганда
,
(II)
импульс олиб қўйилгандан сўнг
.
Бу экспериментал ишларнинг натижаларидан фойдаланиб фазавий порт
-
ретлар олинди
9
ва
10-
расмлар
.
9-
расм
.
Кучли компенсацияланган
p-Si(Ni)
намуналар
учун ток-босим
“
фазавий портрети
”.
10-
расм
.
Қаршилик-босим
“
фазавий портрети
”
кучли компенсацияланган
p-Si(Ni)
намуналар
учун
.
4-
расмдан кўриниб турибдики изотермик жараён деформацияси фазавий
портретлари тўғри тўртбурчак шаклига эга
.
Лекин
[1]
ишнинг экспериментал
13
натижалари асосида олинган фазавий портретлари тўғри тўртбурчак шаклига
эмас
,
балки ўзига хос трапеция шаклига эгалигини кўришимиз мумкин
.
Бундай
назариянинг экспериментдан четлашишини қандай тушунтирса бўлади
?
Буни
қуйидагича тушунтирса бўлади
.
Назарий тадқиқотларда биз температуранинг
ўзгармайди деб ҳисоблаганмиз
, 8-
расмдан кўриниб турибдики экспериментда
температура Келвин шкаласи бўйича
289
до
301
градусгача ўзгаради
.
Мана шу
қўшимча қизиш заряд ташувчилари генерацияси
фазали портретлар шаклини
тўғри тўртбурчак шаклидан четлашишга олиб келади
.
§3.4
бўлимда яримўтказгичга кучли ЎЮЧ майдон таъсир этгандаги
фазавий портретлари қурилган
.
Фазавий портретлардан яримўтказгичга кучли
ЎЮЧ майдон таъсир этгандаги кечадиган жараёнларни тахлил этишда
мувофаққиятли фойдаланиш мумкин деган хулоса қилинди
.
§3.5
бўлимда яримўтказгич хусусий ёруғлик билан ёритилганда
тензосезгирликга таъсири кўриб чиқилган
.
Ёруғлик частотаси қизил чегарага
яқин бўлган холат кўриб чиқилган
.
Ёритилганда тензосезгирлик коэффициенти(ТСК
)
қуйидагича бўлади
( )
( )
( )
( )
(
)
e
e
e
I
J
J
I
J
J
S
S
S
S
+
+
=
0
ТСК
(9)
қизил чегарага яқинида
( )
0
=
I
J
S
( )
e
a
t
e
E
I
i
I
s
J
0
,
=
,
0
I
ёруғлик интенсивлиги
( )
( )
( )
0
)
0
(
)
0
(
0
0
0
0
0
0
0
ТСК
S
S
S
S
J
I
e
КТЧ
J
I
kT
J
I
kT
J
I
J
e
a
t
e
a
t
e
a
t
e
a
t
e
e
+
=
+
D
=
+
D
=
+
=
(10)
p–n-
ўтиш ТСК си
тескати сижишда ёритилган ортади
3
10
,
18
10
0
,
2
-
10
~
,
8
10
-
=
=
-
=
e
a
t
I
с
,
10
~
0
S
J
I
a
t
,
3
10
-
=
e
4
10
4
10
0
ТСК
ТСК
»
+
=
яъни қизил чегарада ёритиш ТСК ни кескин ошириб
юборади
.
§ 3.6
бўлимда
p-n-
ўтиш тензосезгирлигини спектрал боғлиқлиги кўриб
чиқилган
.
Юпқа
p-n-
ўтишнинг вольтампер характеристикаси қуйидаги
кўринишга эга
.
÷
÷
ø
ö
ç
ç
è
æ
-
=
1
kT
eU
S
e
j
j
(11)
p–n-
ўтиш ТСК сини доимий
U
-
кучланиш остида қуйидаги формуладан
аниқлаймиз
.
e
j
dj
l
l
j
j
ТCК
=
D
D
÷
ø
ö
ç
è
æ
÷÷
ø
ö
çç
è
æ
:
~
(12)
l
dl
=
e
-
нисбий деформация
.
Токнинг нисбий ўзгариши тўйиниш токининг нисбий ўзгариши билан
аниқланади
.
14
s
j
s
j
j
j
D
=
D
(13)
p–n-
ўтиш ТСК си қуйидагига тенг
e
R
R
ТСК
D
=
(14)
Кичик токларда
1
<<
S
j
j
;
kT
s
j
j
j
s
j
kT
I
ТСК
D
=
×
D
=
-
кучланиш генератори
режимидаги каби
I
ТСК
U
ТСК
=
.
Тескари токларда эса
0
<
U
,
kT
ТСК
D
=
.
Тўғри токларда ТСК камаяди
,
ток генератори режими ўлчашлар учун
қулай
.
Кучланиш генератори режимида ТСК токга боғлиқ бўлмайди
.
Ток
генератори режимида ТСК ток катталигига боғлиқ бўлади ва катта токларда
÷÷
ø
ö
çç
è
æ
=
÷÷
ø
ö
çç
è
æ
+
=
S
U
S
U
I
j
j
ТСК
j
j
ТСК
ТСК
ln
1
ln
агар
1
>>
S
j
j
бўлса
.
Ток генератори режимида
ТСК
ток ортиши билан логарифмик равишда камаяди
.
§ 3.7
бўлимда ёритилган
p–n-
ўтишнинг тензосезгирлигига ва ТСКсига
ёруғликнинг таъсири курилган
.
Ёритилган
p–n-
ўтишнинг тензосезгирлиги доимий
деформация
0
e
,
ёруғлик
частотаси
w
ва её ёруғлик интенсивлиги
0
I
билан бошқариш мумкин деган
хулоса қилинди
.
Критик нуқталар яқинида деформация таъсирида ютилиш
коэффициенти кучли ўзгариши мумкин
,
бунинг натижасида
p–n-
ўтишнинг ТСК
си аномал катта катталикларга эришиши мумкин
.
Тўртинчи боб
яримўтказгичли плёнкаларда реактив фотоЭЮКнинг хосил
бўлишига бағишланган
. §4.1
бўлимда турли хил холларда баллистик фотоЭЮК
хосил бўлиши мухокама этилган
,
реактив фототоклар кўп холларда номоён
бўлиши кўрсатилган
.
Қалинлиги фотоэлектроннинг эркин югуриш йўлига тенг
бўлган плёнкаларда фотоЭЮК баллистик токлар хисобига юзага келиши
кўрсатилган
.
§4.2
бўлимда
p-n-
ўтишда реактив фотоЭЮКнинг номоён бўлиши масаласи
кўрилган
.
§4.3
бўлимда баллистик фототокларга асосланган аномал катта
фотомагнитЭЮК мухокама этилади
,
назарий баҳолашлар эксперимент
натижалари билан солиштирилади
.
Аномал катта фотокучланишларни(АФК
)
частотага боғлиқлигини ютилиш коэффициентини фотон энергиясига
(
) (
)
m
g
g
E
h
E
h
-
-
=
n
n
a
~
2
1
боғлиқлиги билан тушунтириш мумкинлиги кўрсатиб
15
берилган
.
Фотоэлектронлар тезлиги
(
)
2
1
~
v
g
E
h
-
n
иккала холда хам фотомагнит
кучланишга ўз хиссасини қўшади
.
§4.4
бўлимда деформацияни АФК-эффектга таъсири реактивных
фототоклар ёрдамида тушунтирилади
. [2]
да аномал катта фотокучланишлар
кузатилади
(11-
расм
).
Эксперимент натижаларини реактив фототоклар билан
тушунтирса бўлади
,
чунки фотоэлектронлар пайдо бўлиши билан уларнинг
энергияси ёруғлик частотаси ва деформация билан белгиланади
.
11-
расм
. CdTe : Ag
плёнкаларини механик деформация таъсирида
АФК
V
ни нисбий
ўзгариши
.
K
T
лк
L
3000
10
3
2
=
×
=
бўлганда
.
Эйнштейна тенгламасига асосан фотоэлектронларнинг максимал кинетик
энергияси қуйидагича
( )
( )
e
e
n
e
n
D
+
-
=
±
»
g
g
E
h
E
h
mv
2
2
(15)
хусусий ютилиш чегараси яқинида
e
D
»
»
D
2
2
mv
U
e
(16)
яъни
,
деформация билан тормозлолвчи кучланиш чизиқли боғлиқлиги
кузатилади
.
Бундан келиб чиқадики
,
агарда АФК эффект реактив токлар билан
белгиланса юпқа плёнкаларда АФК кучланиш ва деформациянинг тўғри
пропорционал боғлиқлиги кузатилиши керак
.
Расмдан кўриниб турибдики
деформациянинг
±(1-3)·10
-3
чегарасида кучланишнинг нисбий ўзгариши
U
U
D
0
ва
0,1
оралиқда бўлади
.
Ушбу муҳим хулоса АФК плёнкаларидаги АФК
эффекти рактив фототоклар билан боғлиқлигини тасдиқлайди
.
Бобнинг сўнгида
ёруғликнинг АФК плёнкалар тензосезгирлигига
таъсири мухокама этилади
. [2]
ишида
CdTe:Ag
АФК плёнкалар чўзилиш ва
қисилишдаги фототензосезгирлигининг ўзгариши кўрилган
(12-
расм
).
0,05
0,1
0,1
0,05
ε
10
3
1
2
3
-3
-2
U
U
D
16
Рис
. 12 CdTe:Ag
АФК плёнкаларни қисқа туташув токига боғлиқлиги
,
.
.
10
2
3
ед
отн
-
×
±
=
e
механик деформация остида
.
Кичик диаграммада чўзилиш ва
қисилишдаги фототензосезгирлигининг ўзгариши кўрилган
.
Экспериментда
n
K
максимуми фотоннинг энергияси хусусий ютилишга
тенг бўгандаги
эВ
h
3
.
1
=
n
холатга тўғри келади
. 3
бобда биз назарий
тадқиқотларимизда
хусусий
ютилиш
тезосезгирлик
коэффициентини
оширишини аниқлаган эдик
.
Ушбу экспериментал маълумот бизнинг
хулосамизни тасдиқлайда
.
ХУЛОСА
Ишнинг асосий натижалари ва хулоса
:
1.
ЎЮЧ тўлқин электрон газининг қизиши ва баръер баландлигини
ўзгартириши орқали хам статистик хам динамик таъсир кўрсатади
.
Бу эса
p-n-
ўтишда рекомбинацион токларни ортишига олиб келади
.
2.
Бир ўлчовли модел орқали токларни бахолаш тўғри эмас
.
Токларни икки
ўлчовли моделда кўрилганда уюрмали токлар юзага келади
.
3.
ЎЮЧ квазипотенциал
p-n-
ўтишларда ҳосил бўлувчи уюрмавий токларни
камайтирди
.
4.
Берк
“
фазавий траекториялар
”
электронли жараенлар билан боғлиқ
,
очиқ
“фазавий траекториялар”яримўтказгич параметрлари ўзгариши билан
боғлиқ
.
5.
Ёруғлик
деформация-ўтказувчанлик
“
фазавий
портретини
”
ўтказувчанлик ўқи бўйлаб қаттиқ ўзгартириб юборади
.
6.
Хусусий ёруғлик билан ёритиш намунанинг тензосезгирлигини оширади
.
7. p-n-
ўтишларда иссиқ ташувчиларнинг термоЭЮК кинетикасининг
“
фаза
портретлари
”
қурилди
.
8. p-n-
ўтишнинг тензосезгирлик коэффициенти хусусий ютилиш чегарасида
кескин ортади
..
17
9.
Плёнкалардаги аномал катта фотокучланиш ва аномал катта
фотомагниткучланишлар баллистик токларга боғлиқ бўлиши мумкин
.
10.p-n-
ўтиш генерациялаётган фотоЭЮКни реактив фототоклар оширади
.
11.
Аномал катта фотокучланишни деформацияга чизиқли боғлиқлиги
фотоЭЮКни баллистик механизмини яққол тасдиқловчи фактдир
.
Фойдаланилган адабиётлар
:
1.
О.О.Маматкаримов
.
Тензоэлектрический эффект в кремнии с глубокими
уровнями и в структурах на их основе
.
Диссертация на соискание учёной сте
-
пени доктора физико-математических наук
.
Ташкент
-2003.
2.
С.М.Отажонов
.
Аномальные фотоэлектрические явления в полупроводни
-
ковых плёночных структурах из соединений
A
2
B
5
c
глубокими примесными
уровнями
.
Диссертация на соискание учёной степени доктора физико
-
математических наук
.
С
.480.
Диссертация мавзуси бўйича чоп эттирилган ишлар
:
Илмий журнал ва тўпламдаги мақолалар
:
1.
Г.Гулямов
,
С.Р.Бойдедаев
,
М.Г.Дадамирзаев
,
А.Гулямов
.
Аномально боль
-
шие фотонапряжения в полупроводниковых пленках
,
обусловленные реактив
-
ной фотоэдс
. «
Альтернативная энергетика и экология
». 2007,
№
5(49),
ст
. 103-
107.
2.
М.А
hmetoglu, S.H.Shamirzaev, G.Gulyamov, M.Dadamirzayev,
А
.G.Gulyamov.
Change in the resistance of the semiconductor in the variable deformation fiald.
Rom.Journ.Phys., vol.52. nos/ 3-4, p. 319-327, Bucharest, 2007.
3. C.
Х.Шамирзаев
,
Г.Гулямов
,
М.Г.Дадамирзаев
,
А.Г.Гулямов
.
Коэффициент
неидеальности вольтамперных характеристик
p-n-
переходов в сильном сверх
-
высокочастотном поле
.
ФТП
, 2009,
том
43,
вып
.1.
стр
.53.
4. C.
Х.Шамирзаев
,
Г.Гулямов
,
М.Г.Дадамирзаев
,
А.Г.Гулямов
.
Вихревые токи
,
возникающие на
p-n-
переходе в сверхвысокочастотном электромагнитном поле
.
ФТП
, 2009,
том
43,
вып
.9.
стр
.1210.
5.C.
Х.Шамирзаев
,
Г.Гулямов
,
М.Г.Дадамирзаев
,
А.Г.Гулямов
.
Электродвижу
-
щая сила на выпрямляющем барьере в сверхвысокочастотном электромагнит
-
ном поле
.
УФЖ
, 2009,
том
11,
вып
.2.
стр
.122-127.
Хақаро ва Республика конференцияларда чоп этилган мақолалар
.
1.
Г.Гулямов
,
С.Р.Бойдедаев
,
А.Г.Гулямов Коэффициент неидеальности ВАХ
p-
n-
перехода в сильном СВЧ поле
.
Материалы международной конференции по
«Неравновесные процессы в полупроводниках и в полупроводниковых струк
-
турах
»,
ст
. 147, 1-3
февраля
, 2007
г
.
г.Ташкент
.
2.
С.Х.Шамирзаев
,
Г.Гулямов
,
С.Р.Бойдедаев
,
А.Г.Гулямов
.
Ўта юқори часто
-
тали
(
ЎЮЧ
)
электромагнит майдонидаги ўтказувчан лик ва силжиш токларини
бахолаш
. «
Замонавий физиканинг фундаментал ва амалий муаммолари
»
Рес
-
18
публика илмий-амалий конференция материаллари
, -
бет
, 18-19.05.07,
Тош
-
кент шахри
.
3.
Г.Гулямов
,
С.Р.Бойдедаев
,
А.Г.Гулямов
Кучли ЎЮЧ майдондаги
p-n-
ўтишда ўтказувчанлик ва силжиш токлари
. «
Рақобатбардош кадрлар тайёрлаш
:
тажриба ва муаммолар
»
Республика илмий-амалий конференцияси материалла
-
ри тўплами
(III-
кисм
), 12-
бет НамМПИ
-2007
й
.
4.
УЮЧ майдондаги тугриловчи контактда электронларнинг кизиши ва токнинг
тугриланиши
.
Труды материалов республи-канской научно-практической кон
-
ференции
. «
Проблемы альтернативной энергетики и энергосбережения
». 25-26
сентября
.
Наманган
-2007
г
.
Ст
.86.
Г.Гулямов
,
С.Р.Бойдедаев
,
А.Г.Гулямов
5.
Г.Гулямов
,
С.Р.Бойдедаев
,
А.Г.Гулямов
.
Реактив фотоэюк билан богланган
аномал катта фотокучланишлар
.
Труды материалов республи-канской научно
-
практической конференции
. «
Проблемы альтернативной энергетики и энерго
-
сбережения
». 25-26
сентября
.
Наманган
-2007
г
.
Ст
.87.
6.
Г.Гулямов
,
А.Г.Гулямов
.
ЎЮЧ электромагнит майдондаги
p-n-
ўтишда ҳосил
бўладиган уюрмали токлар
.
Материалы
V-
ой Республи-канской научной кон
-
ференции
«
Рост
,
свойства и применение кристаллов
» 11-12
апреля
.
Андижан
-
2008
г
.
Ст
.125.
19
Техника фанлар номзоди даражасига давогар Гулямов Абдурасул
Гафуровичнинг
01.04.10-
яримўтказгичлар физикаси ихтисослиги бўйича
“Деформацион эффектлар динамикаси ва яримўтказгич пардаларида реактив
фототоклар
”
мавзудаги диссертациясининг
РЕЗЮМЕСИ
Таянч сўзлар
:
Иссиқ электронлар
,
баллистик фототоклар
,
реактив фото
-
токлар
,
юқоричастотали квазипотенциал
,
фазалар траекториялари
,
фазалар
портрети
,
динамик тензосезгирлик
,
уюрмали токлар
,
аномал катта
фотокучланишлар
,
АФК-эффекти
.
Объекты исследования
:
Вакуумли чанглатилиш орқали олинган
Bi
2
Te
3
ва
Sb
2
Te
3
тензосезгир плёнкалар
,
чуқур сатхли кучли компенсацияланган
кремний
,
кремнийли
p-n-
ўтишлар
, CdTe df Si
АФК плёнкалари
.
Диссертация ишининг мақсади
:
Ўта юқори частоталимайдондаги
p-n-
ўтишларда электр юритувчи кучларнинг ҳосил бўлиш механизмларини тадқиқ
қилиш ва тензосезгир плёнкалардаги деформацион эффектлар динамикасини
“фазалар траекторияси
”
усули орқали ёритиш
.
Тадқиқод
методлари
:
Тебранишлар
назариясидаги
“
фазалар
траекторияси
”
методи
.
Деформацион эффектларни моделлаштириш
.
Сонли
экспериментлар
.
Олинган натижалар ва уларни янгилиги
:
1.
Илк бор уюрмали токларни Миллер кучи ҳисобига камайиши кўрсатилди
.
2.
Яримўтказгичларда деформацион эффектларни тадқиқ қилиш учун
биринчи марта
“
фазалар потрети
”
методи қўлланилди
.
3.
Деформацион
эффектлар
“
фазавий
траекториялари”га
хусусий
ёруғликнинг таъсири аниқланди
.
Практическая
значимость
:
“Фазалар
траекторияси
”
усули
яримўтказгичларда деформацион эффектлар динамикасини тадқиқ қилишда
кенг қўлланиши мумкин
.
Тензосезгирлик бўйича олинган тақиқод
натижаларидан янги сегирлигини бошқариш мумкин бўлган тензодатчиклар
олишда фойдаланиш мумкин
.
Қўлланилиш соҳаси
:
Микроэлектроника
,
қаттиқ жисм физикаси
,
яримўтказгичлар физикаси
,
тензометрия
,
оптоэлектроника
.
20
РЕЗЮМЕ
диссертации Гулямова Абдурасула Гафуровича на тему
«
Динамика деформа
-
ционных эффектов и реактивные фототоки в полупроводниковых плёнках
»
на
соискание учёной степени кандидата физико-математических наук по специ
-
альности
01.04.10 –
физика полупроводников
.
Ключевые слова
:
Горячие электроны
,
баллистические фототоки
,
реак
-
тивные фототоки
,
высокочастотный квазипотенциал
,
фазовые траектории
,
фа
-
зовые портреты
,
динамическая тензочувствительность
,
вихревые токи
,
ано
-
мально большие фотонапряжения
,
АФН-эффект
.
Объекты исследования
:
тензочувствительные плёнки
Bi
2
Te
3
и
Sb
2
Te
3
по
-
лученные при вакуумном напылении
,
сильнокомпенсированный кремний с глубокими уров
-
нями
,
кремневые
p-n-
переходы
,
АФН плёнки
CdTe
и
Si.
Целью диссертации
является исследование механизмов возникновения
ЭДС в
p-n-
переходах в сильных СВЧ полях
.
Описание динамики деформацион
-
ных эффектов в тензочувствительных плёнках методами фазовых траекторий и
термодинамики циклических процессов
.
Метод исследования
.
Методы фазовых траекторий в теории колебаний
.
Моделирование деформационных эффектов
.
Численные эксперименты
.
Полученные результаты и их новизна
:
4.
Впервые показано
,
уменьшение вихревых токов за счёт силы Миллера
.
5.
В полупроводниковых плёнках впервые применён метод фазовых портре
-
тов для исследования деформационных эффектов в полупроводниках
.
6.
Установлено влияние освещения собственного света на фазовые траекто
-
рии деформационных эффектов
.
Практическая значимость
:
Метод фазовых траекторий может быть ис
-
пользован при контроле характеристик полупроводников
.
Результаты иссле
-
дования тензочувтвительности могут быть использованы при разработке но
-
вых тензодатчиков с управляемой чувствительностью
.
Область применерния
:
Микроэлектроника
,
физика твердого тела
,
физи
-
ка полупроводников
,
тензометрия
,
оптоэлектроника
.
21
RESUME
Thesis of Gulyamov Abdurasul Gafurovich on the scientific degree competition of
the doctor of philosophy in physical-mathematical sciences on specialty 01.04.10 -
a physics semiconductor subject "Track record deforming effect and reactive photo-
currents in semiconductor film".
Keywords:
Hot electrons, ballistic photocurrents, reactive photocurrents, radio-
frequency quasipotential, R(
e
) trajectory and portraits, dynamic tenzosensitivity ,
circle currents , anomalous greater photo-tension.
Subject of the inquiry:
tenzosensitivity films Bi2Te3 , Sb2 Te3 got under vacuum
evaporation, high recouped silicon with deep level, flint p-n-transition, AGP film
CdTe and Si.
Aim of the inquire
is a study of mechanism origin EMF in p-n-transition in
strong SRF floor. The Description speakers deforming effect in tenzosensitivities film
by methods R(
e
) path and thermodynamics of the round-robin processes.
Methods of inquiry:
The methods R(
e
) path in theories of the fluctuations. Mod-
eling deforming effect. The Numerical experiments.
The results achieved and their novelty:
1. Reduction of vortical currents for the first time is shown at the expense of force
Miller.
2. Method of thermodynamics of cyclic processes and (R (
e
)) diagrams for the first
time is used for research of deformation effects in semiconductors.
3.Establish influence of the illumination of the own light on phase trajectory of de-
forming effect.
Practical value:
Method phase path can be use when checking the features semi-
conductor. The Results studies of tenzosensitivity can be used at development a new
tenzogauges
Sphere of usage:
Microelectronics, solid state physics, physics semiconductor, op-
toelectronics.
