Maqola tafsilotlariga qaytish Ярим ўтказгич ва диэлектрик пленкаларни кичик энергияли ионлар билан бомбардимон қилганда ҳосил бўлувчи нанопленкалар ва нанокристалларнинг электрон спектроскопияси Yuklab olish PDFni yuklab olish